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Speedfam NTS Anel cerâmico de alumínio Anel de moagem de alta dureza

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Anel de cerâmica
Principais características
O anel de moagem de cerâmica é feito de pó de alumina de alta pureza, Ele tem vantagens como alta dureza, alta precisão, boa retenção de forma, sem necessidade de curativo e longa vida.É especialmente adequado para o processo de moagem e polimento de wafer ou chip.. Pode realizar o curativo de alta precisão on-line do disco de moagem e a dispersão uniforme do líquido de moagem.
Aplicação
Para o processo de moagem e polimento de substratos LED e wafers epitaxial com alta precisão.Ele pode perceber on-line de alta precisão de revestimento do disco de moagem e dispersão uniforme do líquido de moagem.
Máquina correspondente:Speedfam, NTS, Galaxies e assim por diante.
Especificações: